(1.微系统与微结构制造教育部重点实验室(哈尔滨工业大学), 150001 哈尔滨; 2. 黑龙江工程学院 电气与信息工程学院,150001 哈尔滨)
张贺(1981—),男,博士研究生; 刘晓为(1955—),男,教授,博士生导师.
张贺,zhanghe.hit@gmail.com.
TP273.4
国家自然科学基金(61404036).
(1.Key Laboratory of Micro-systems and Micro-structures Manufacturing(Harbin Institute of Technology), Ministry of Education,150001 Harbin, China; 2.College of Electrical and Information Engineering, Heilongjiang Institute of Technology, 150001 Harbin, China)
张贺,刘晓为,唐佳禄,韩小为,田丽.三维阶梯结构微混合器设计、制作及性能分析[J].哈尔滨工业大学学报,2016,48(4):54. DOI:10.11918/j. issn.0367-6234.2016.04.009
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